工业通用技术及设备论文_热阴极电离规灵敏度的-真空与低温

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工业通用技术及设备论文_热阴极电离规灵敏度的

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文章摘要:本文基于数值模拟和实验方法研究热阴极电离规的计量性能，开展了电极电压和栅网结构对Bayard-Alpert电离规灵敏度的影响研究。研究表明，随着阴极阳极电压差从50V增加到140V，灵敏度持续增大，之后缓慢下降，随着栅网丝间距从2mm增加到3.5mm和丝径从0.4mm减小到0.2mm，灵敏度显著增大。采用正交分析法对电离规的结构和电压参数进行了优化，结果显示，当栅网丝径为0.2mm，丝间距为3.5mm，阳极电压为220V，阴极电压为80V时，热阴极电离规的灵敏度最大，模拟结果为0.184Pa^-1，根据优化和模拟结果进行了实验验证，实验结果为0.196Pa^-1，实验结果与模拟结果具有一致性。

文章关键词:

论文DOI:10.13922/j.cnki.cjvst.202109011

论文分类号:TB77