工业通用技术及设备论文_复合分子泵涡轮级参数-真空与低温

来稿应自觉遵守国家有关著作权法律法规，不得侵犯他人版权或其他权利，如果出现问题作者文责自负，而且本刊将依法追究侵权行为给本刊造成的损失责任。本刊对录用稿有修改、删节权。经本刊通知进行修改的稿件或被采用的稿件，作者必须保证本刊的独立发表权。一、投稿方式： 1、请从我刊官网直接投稿。 2、请从我编辑部编辑的推广链接进入我刊投审稿系统进行投稿。二、稿件著作权： 1、投稿人保证其向我刊所投之作品是其本人或与他人合作创作之成果，或对所投作品拥有合法的著作权，无第三人对其作品提出可成立之权利主张。 2、投稿人保证向我刊所投之稿件，尚未在任何媒体上发表。 3、投稿人保证其作品不含有违反宪法、法律及损害社会公共利益之内容。 4、投稿人向我刊所投之作品不得同时向第三方投送，即不允许一稿多投。 5、投稿人授予我刊享有作品专有使用权的方式包括但不限于：通过网络向公众传播、复制、摘编、表演、播放、展览、发行、摄制电影、电视、录像制品、录制录音制品、制作数字化制品、改编、翻译、注释、编辑，以及出版、许可其他媒体、网站及单位转载、摘编、播放、录制、翻译、注释、编辑、改编、摄制。 6、第5条所述之网络是指通过我刊官网。 7、投稿人委托我刊声明，未经我方许可，任何网站、媒体、组织不得转载、摘编其作品。

工业通用技术及设备论文_复合分子泵涡轮级参数

作者:

关键词:

摘要：

文章摘要:复合分子泵作为氦质谱检漏仪的重要部件，其自身的几何参数影响到抽气性能的同时，也影响着检漏仪的检测性能。本文基于分子泵抽气基本理论，建立复合分子泵涡轮级的计算模型，通过改变叶片倾角、叶片数目、叶片高度和叶片厚度，分别计算复合分子泵涡轮级对空气和氦气的抽气性能，研究复合分子泵涡轮级参数对氦质谱检漏仪检测性能的影响。结果表明：减小叶片倾角、增加叶片数目和叶片高度、增大叶片厚度有利于氦质谱检漏仪检测精度的提高；综合考虑分子泵的抽气性能和氦质谱仪的检测精度，选取叶片倾角25°，涡轮叶片数目25个到30个，叶片高度3mm，叶片厚度0.6mm到0.8mm最优。

文章关键词:

论文分类号:TB752