仪器仪表工业论文_双腔比对折射率法测定气体压-真空与低温

来稿应自觉遵守国家有关著作权法律法规，不得侵犯他人版权或其他权利，如果出现问题作者文责自负，而且本刊将依法追究侵权行为给本刊造成的损失责任。本刊对录用稿有修改、删节权。经本刊通知进行修改的稿件或被采用的稿件，作者必须保证本刊的独立发表权。一、投稿方式： 1、请从我刊官网直接投稿。 2、请从我编辑部编辑的推广链接进入我刊投审稿系统进行投稿。二、稿件著作权： 1、投稿人保证其向我刊所投之作品是其本人或与他人合作创作之成果，或对所投作品拥有合法的著作权，无第三人对其作品提出可成立之权利主张。 2、投稿人保证向我刊所投之稿件，尚未在任何媒体上发表。 3、投稿人保证其作品不含有违反宪法、法律及损害社会公共利益之内容。 4、投稿人向我刊所投之作品不得同时向第三方投送，即不允许一稿多投。 5、投稿人授予我刊享有作品专有使用权的方式包括但不限于：通过网络向公众传播、复制、摘编、表演、播放、展览、发行、摄制电影、电视、录像制品、录制录音制品、制作数字化制品、改编、翻译、注释、编辑，以及出版、许可其他媒体、网站及单位转载、摘编、播放、录制、翻译、注释、编辑、改编、摄制。 6、第5条所述之网络是指通过我刊官网。 7、投稿人委托我刊声明，未经我方许可，任何网站、媒体、组织不得转载、摘编其作品。

仪器仪表工业论文_双腔比对折射率法测定气体压

作者:

关键词:

摘要：

文章摘要:本文搭建了基于气体折射率方法的气体压力测量装置，气体压力测量区间为10kPa至100kPa，并采用双腔比对方法对装置进行检验。通过将两个真空腔体分别控温，并且真空连通，以保证两个腔内气体压力相同。以高纯氮气（6N）为气体介质，在不同气体压力条件下，得到了双腔对比测量的初步结果。结果显示，基于光学方法的气体折射率压力计重复度好于30ppm，显著好于商用电容式薄膜压力计，说明该方法具有很大潜力。本文还分析了测量中的误差来源，并计划通过改进系统设计以提高测量精度。

文章关键词:

论文分类号:TH823.2