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仪器仪表工业论文_双腔比对折射率法测定气体压
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摘要:文章摘要:本文搭建了基于气体折射率方法的气体压力测量装置,气体压力测量区间为10kPa至100kPa,并采用双腔比对方法对装置进行检验。通过将两个真空腔体分别控温,并且真空连通,
文章摘要:本文搭建了基于气体折射率方法的气体压力测量装置,气体压力测量区间为10kPa至100kPa,并采用双腔比对方法对装置进行检验。通过将两个真空腔体分别控温,并且真空连通,以保证两个腔内气体压力相同。以高纯氮气(6N)为气体介质,在不同气体压力条件下,得到了双腔对比测量的初步结果。结果显示,基于光学方法的气体折射率压力计重复度好于30ppm,显著好于商用电容式薄膜压力计,说明该方法具有很大潜力。本文还分析了测量中的误差来源,并计划通过改进系统设计以提高测量精度。
文章关键词:
论文分类号:TH823.2
文章来源:《真空与低温》 网址: http://www.zkydw.cn/qikandaodu/2022/0122/547.html