工业通用技术及设备论文_MEMS电容薄膜真空计及-真空与低温

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工业通用技术及设备论文_MEMS电容薄膜真空计及

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文章摘要:基于微机电系统（MEMS）技术研制了一种新型电容薄膜真空计，结合测量电路，对真空计的整体性能进行了研究。结果表明，MEMS电容薄膜真空计具有良好的稳定性，测量范围为0.2～1050 Pa，在该测量范围内，真空计的分辨率为0.1Pa，准确度达到1‰FS。封装后的MEMS电容薄膜真空计重量为5.0g，体积为4.1cm³，真空计整机功耗为2W左右，具有重量轻、体积小、功耗低、成本低的特点，在空间应用以及工业生产应用中比传统的机械式电容薄膜真空计更具优势。

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论文分类号:TB772