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无线电电子学论文_空间行波管专用排气工
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摘要：文章目录 1 研制过程和方法 1.1 真空系统简介 1.2 真空室材料的选择 1.3 腔室的设计和制造 1.4 极高真空获得设备的选择 1.5 零部件的净化、除气和储存 1.6 真空测量和检漏 1.7 装配和调试
文章目录
1 研制过程和方法
1.1 真空系统简介
1.2 真空室材料的选择
1.3 腔室的设计和制造
1.4 极高真空获得设备的选择
1.5 零部件的净化、除气和储存
1.6 真空测量和检漏
1.7 装配和调试
2 结论
文章摘要:空间行波管广泛应用于通信卫星、雷达卫星和定位导航等领域，极高真空的获得与维持是空间行波管高可靠性和长寿命的关键，因此研究极高真空烘烤排气系统具有重要意义。极高真空的获得需要在专用真空排气设备上进行，真空排气工艺是微波真空电子器件制造工艺中最重要的一种技术。极高真空的获得和维持涉及多种技术，包含材料的选择、真空室的设计、真空泵的选择、极高真空的获得和测量、真空除气、高灵敏度真空检漏技术和残余气体分析技术等。本文介绍了空间行波管极高真空系统工艺设备研制过程及其在科研生产中的应用。该真空系统实现了空载真空度优于1×10-9Pa，多路带载真空度优于5×10-9Pa，对超高真空、极高真空的获得和真空排气设备制造工艺及应用等具有一定的参考价值。
文章关键词:
论文DOI:10.13385/j.cnki.vacuum.2022.05.09
论文分类号:TN124
文章来源：《真空与低温》 网址: http://www.zkydw.cn/qikandaodu/2022/0928/645.html